技术分析:微机电系统(MEMS)之介绍
摘要
近半世纪以来,微电子从粗糙的单一电晶体到集有数百万颗电晶体的微电脑晶片,人类已经享受到它所带给我们的无穷的方便与乐趣。如今,微电子产品几乎无孔不入地影响到生活的每一个面向,而这不过是把电子这一部份缩小而已。若也能同样把机械与光学部份缩小,是否会为我们的生活带来另一波的冲击?微机电系统(MEMS)的科技就是这种能缩小机械、光学,且能感受声、光、电、磁、味、冷、热以及运动的系统科技,将是廿一世纪重要的产业科技,是智慧型高单价的产业技术。
近半世纪以来,微电子从粗糙的单一电晶体到集有数百万颗电晶体的微电脑晶片,人类已经享受到它所带给我们的无穷的方便与乐趣。如今,微电子产品几乎无孔不入地影响到生活的每一个面向,而这不过是把电子这一部份缩小而已。若也能同样把机械与光学部份缩小,是否会为我们的生活带来另一波的冲击?微机电系统(MEMS)的科技就是这种能缩小机械、光学,且能感受声、光、电、磁、味、冷、热以及运动的系统科技,将是廿一世纪重要的产业科技,是智慧型高单价的产业技术。
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