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微机电(MEMS)技术应用横跨多项产业,坊间各项报告内容虽多,但对于不同领域之系统产品,往往仅见文字说明内容,或文内刊载之影像图形不够清晰。故本文特别针对MEMS主要发展与应用,利用图解及浅显文字之方式作一说明。本文内容主要摘录自日本经济产业省产业环境局之技术调查报告内容,原文不足的地方也参考其他文件、网站资料或由作者做过修改。 Lab on Chip [...]
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