MEMS产业发展现况与趋势分析
摘要
当电子产品走向轻、薄、短、小之际，异质整合系统便成为未来半导体产业发展重要方向，其中微机电系统(MEMS)不仅能将传统之感测器(Sensor)、致动器(Actuator)等整合成微米尺度的微小单元，发展成将所有机电感测器结构与类比和数位讯号处理功能整合到单一晶片中，从而在晶片上创造出声学、惯性和射频系统，一个包含感测、致动、讯号处理、控制等多项功能的完整微型系统。拓墣产业研究所(TRI)预估2007年全球MEMS产业将有69亿美元产值，年成长率高达17%，未来三年将持续保持正成长，到2010年产值将突破百亿美元大关达115亿美元产值；应用范围也将由先前的光学产品、感测器、喷墨头，进一步扩展至RF开关、汽车电子、麦克风、投影机、人机介面装置、网路通讯、电信设备，甚至生物科技、医疗技术等不同领域。
2004～2010年全球MEMS产值分析 |
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| Source：Yole Développement；拓墣产业研究所，2007/09 |
