出版日期:2008-07-27

消费性电子开启MEMS元件应用市场新契机

简介

近年來半導體製程技術日趨成熟,使製作MEMS元件之可行性大幅提昇,促使應用技術蓬勃發展;對於整體市場的發展方向,可分為MEMS系統、MEMS元件、設備及材料與化學四大區塊。台灣挾晶圓代工技術領先全球之優勢,CMOS MEMS將成為主流製程技術之一,與製作MEMS感測器元件相容性高,目前已有廠商搶進佈局,鎖定方向包括MEMS感測器/模組(如壓力計、加速度計)及微投影顯示器。台灣若能以CMOS MEMS製程大量生產特性,結合MEMS技術製作感測器元件,深信在製造成本上將是另一競爭優勢。

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